Informationen zum Lasertrimmen

So wie integrierte Schaltkreise und Mikrochips werden auch resistive Bauelemente exakt auf die Applikation z.T. direkt in den Schaltkreisen, in welche sie implementiert sind, fein abgestimmt. Das wird im Falle von eingebauten resistiven Bauelementen mittels Laserabgleich (Trimmen) in Dünnschicht- und Dickschichtschaltungen realisiert. Der exakte Leitwert des Widerstandes wird mit dem sogenannten Passivabgleich umgesetzt. Funktionsparameter einer Schaltgruppe werden mittels Aktivabgleich realisiert. Der spezifische Leitwert integrierter Widerstände wird über einen Prozess des laserinduzierten Materialabtrages, oder durch einen gezielten Laserschnitt in das Widerstandsmaterial beeinflusst. Der Prozess wird durch eine Online-Messung des Widerstandswertes kontrolliert und die Eigenschaften überwacht. Ziel sind exakte Anpassungen des Widerstandswertes mit minimalsten Abweichungen, sowie eine hohen Langzeitstabilität über den Lebenszyklus des Produktes. Ein Produkt, welches auf diesem Wege hergestellt werden kann, sind bspw. Feuchtesensoren oder Temperatursensoren. ACI Laser bringt hierbei eine Technologie zum Einsatz, welche einen Feinabgleich ohne aufwändiges Kompensationsverfahren und damit ohne den Einsatz einer Druckkammer möglich macht. Die Lasertypen, die für das Widerstandstrimmen zum Einsatz kommen, sind diodengepumpte Nd:YAG-Systeme oder Faserlasersysteme. Diese führen den Laserstrahl mittels auf Galvanometern (eine Art elektrischer Motor) montierten Spiegeln über die zu bearbeitenden Widerstände. Vorteil des Verfahrens ist die hohe Präzision des Ergebnisses und dass es sich einfach in eine komplexe Produktion integrieren lässt. Einzelnachweise für eine konkrete Umsetzung finden Sie hier.